而技術(shù)推動(dòng)是加速傳感器技術(shù)發(fā)展的保證和機遇。幾十年來(lái)，以微電子技術(shù)為基礎，促進(jìn)了傳感器技術(shù)的發(fā)展。未來(lái)10～20年，傳統硅技術(shù)將進(jìn)入成熟期(預測為2014年～2017年)。屆時(shí)，直徑300mm硅晶片將大量用于生產(chǎn)，使得硅的低成本制造技術(shù)和硅的應用技術(shù)將得到*的發(fā)展，這無(wú)疑將為研制生產(chǎn)微型傳感器、智能傳感器等新型傳感器提供技術(shù)保障。從總體發(fā)展看，傳統硅技術(shù)將一直延續到2047年(即晶體管發(fā)明100周年)才趨于飽和(即達到芯片特征尺寸的極限)和衰退。而當前微電子技術(shù)仍將依循“等縮比原理”和“摩爾定律”兩條基礎規律走下去，在盡力逼近傳統硅技術(shù)極限中，不斷擴展硅的跨學(xué)科橫向應用(如MEMS等)和突破“非穩態(tài)物理器件”(量子、分子器件)，而上述微電子技術(shù)發(fā)展中的兩大方向正是當前乃至未來(lái)20年傳感器技術(shù)的主要發(fā)展方向。

　　同時(shí)，多學(xué)科、多種高新技術(shù)的交叉融合，推動(dòng)了新一代傳感器的誕生與發(fā)展。例如：當前我國正在重點(diǎn)開(kāi)發(fā)的MEMS(微電子與微機械的結合)、MOMES(MEMS與微光學(xué)的結合)、智能傳感器(MEMS與CPU、信息控制技術(shù)的結合)、生物化學(xué)傳感器(MEMS與生物技術(shù)、電化學(xué)的結合)等以及今后將大力開(kāi)發(fā)的網(wǎng)絡(luò )化傳感器(MEMS網(wǎng)絡(luò )技術(shù)的結合)、納米傳感器(納米技術(shù)與傳感技術(shù)的結合)均是多學(xué)科、多種學(xué)科技術(shù)交叉融合的新一代傳感器。